1: すらいむ ★ 2026/11/04(水) 20:54:10.04 ID:VF9hF9U+
韓国が窒素だけで－120℃の冷却に成功、半導体製造を変える新型チラーを開発

この記事のポイント
何が起きた: 韓国機械研究院（KIMM）が11月2日、窒素を冷媒とするチラーで－120℃以下、冷却能力15kWを研究チームの試験で確認したと発表した。
なぜ重要か: 極低温エッチング用チラーは高GWPの不燃冷媒に頼ってきた。EUは12kW超で－50℃未満の半導体用機種に2029年末までの適用除外を認めている。
次に見るべき点: 運転条件の公表と第三者による測定、KIMMが示した移転先の2027年製品化目標、冷却15kWに電力90kWを使う効率の扱い。

（以下略、続きはソースでご確認ください）